请问一下,MEMS上面的很多微振镜是不是同时间同频率同方向的震动

2020-12-02 16:10发布

请问一下,MEMS上面的很多微振镜是不是同时间同频率同方向的震动


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1条回答
文苑春秋
1楼-- · 2020-12-20 21:01

HH:一般单轴的多,两轴的少一些,单轴频率能上去,两轴频率高不上来,况且有些要选得看带不带角度闭环反馈。这个只调研过,没用过,不知道说的对不对。

Andy Ming:是不是同时间同频率同方向的震动,如果这些相同,为什么不做一个大一点面积的振镜呢

HH:大了转动惯量控制不住,高频率下,还有,你可以去看看大体的mems原理。驱动能力有限的

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